1

Pulsed plasma-enhanced chemical vapor deposition of Al2O3–TiO2 nanolaminates

Année:
2010
Langue:
english
Fichier:
PDF, 855 KB
english, 2010
6

Digital Control of SiO 2 Film Deposition at Room Temperature

Année:
2009
Langue:
english
Fichier:
PDF, 245 KB
english, 2009
7

Digital Control of SiO 2 −TiO 2 Mixed-Metal Oxides by Pulsed PECVD

Année:
2009
Langue:
english
Fichier:
PDF, 500 KB
english, 2009